Gerätedetails
Oberflächenmessgerät
µScan AF2000
Messgerät
Geometr. Charakterisierung
Zerstörungsfreie Prüfung
NanoFocus
(kein Bild verfügbar - no image available)
- Optische 3D-Scanning-Profilometrie unter Einsatz verschiedener Punktsensoren
- Autofokus-Sensor, konfokaler, chromatischer und holografischer Sensor
- Messung von Topografie, Höhenprofil oder Schichtdicke
- Messbereich 150 mm x 200 mm
- Höhen-Messbereiche zwischen 1000 μm und 18 mm
- Höhenauflösung bis zu 25 nm
- Automatisierbare Messabläufe
WHB E43
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