Gerätedetails

Oberflächenmessgerät
µScan AF2000
Messgerät
Geometr. Charakterisierung
Zerstörungsfreie Prüfung
NanoFocus
(kein Bild verfügbar - no image available)
  • Optische 3D-Scanning-Profilometrie unter Einsatz verschiedener Punktsensoren
  • Autofokus-Sensor, konfokaler, chromatischer und holografischer Sensor
  • Messung von Topografie, Höhenprofil oder Schichtdicke
  • Messbereich 150 mm x 200 mm
  • Höhen-Messbereiche zwischen 1000 μm und 18 mm
  • Höhenauflösung bis zu 25 nm
  • Automatisierbare Messabläufe
Luniak, Marco, Dr.-Ing.
T: (0351) 463 32478
WHB E43

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