Gerätedetails
Fertigungsgeräte
Hotplate, Spincoater, UV-Cleaner
Fertigungsgeräte
Beschichtung
Temperierung
Reinigung
MBraun
Probenpräparation
Hotplate MB-HPL150 ECO
- Temperaturbereichc 25°C - 380°C
- Regelgenauigkeit ± 0,5°C
- Standardabweichung ± 0,3°C
- Material der Platte: keramikbeschichtetes Aluminum
Spincoater LabSpin6 BM Version
- Manuelle Beschichtung von Wafern, quadratischen Substraten und Waferteilen
- Wafer rund 2" bis 6", quadartische Substrate 2" bis 4" x 4"
FAM 346
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