Gerätedetails

Versuchsstand Elektromigration
Versuchsstand
Messgerät
Beschleunigte Alterung
Diagnostik
Elektr. Charakterisierung
Zuverlässigkeitstest
IAVT
(kein Bild verfügbar - no image available)

Leitstrukturen werden mit einem elektrischen Strom und ggf. einer erhöhten Temperatur beansprucht. Zur Reduktion von Joulscher Erwärmung kann eine gepulste und pulsweitenmodulierte elektrische Belastung erfolgen. Über eine anschließende Schliffpräparation können Schädigungen beobachtet und in Elektro- bzw. Thermomigration eingeordnet werden.

  • Max. Gleichspannung: 15 V
  • Max. Gleichstrom: 60 A
  • Pulsfrequenz 10 Hz
  • Pulsweite 0,2…1
  • Temperatur RT…150 °C
  • 4 voneinander unabhängige Testkammern vorhanden
  • in-situ elektrische Messung (128 Kanäle, Genauigkeit: µV, 2 µΩ)
Meier, Karsten, Dr.-Ing.
T: (0351) 463 36594
WHB E63

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