Gerätedetails

Volumenanalyse und –rekonstruktion von Bauelementen und Baugruppenteilen

• offene nanofocus-Röhre mit Wolframtarget
• Beschleunigungsspannung: 10 – 180 kV / 15 W
• Strahlstrom: 5 – 1.000 µA
• Präzisionsmanipulator auf Granitbasis
• hochauflösender Digitaldetektor mit 2.400 x 2.400 Pixel, 12 Bit
• Pixelgröße: 50 µm x 50 µm
• minimale Voxelgröße: < (500 nm x 500 nm x 500 nm)
• geometrische Vergrößerung: 1,7-fach…1.000-fach
• maximale Probengröße / -masse: h = 150 mm, d = 120 mm, m = 1 kg