Gerätedetails
3D-Topometrie
µSurf
Messgerät
Geometr. Charakterisierung
Zerstörungsfreie Prüfung
NanoFocus
(kein Bild verfügbar - no image available)
- Konfokale Mikroskopie unter Nutzung der Multi-Pinhole-Technologie
- Sekundenschnelle Flächenmessung in hoher Auflösung
- Messung von Topografie, Höhenprofil oder Schichtdicke
- Messbereich bis 50 mm x 50 mm
- Höhen-Messbereiche zwischen 1 μm und 10 mm
- Höhenauflösung bis zu 1 nm
WHB E43
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