Gerätedetails

Bezeichnung

Belichter

Gerätetyp

EXP 8000

Geräteklasse

Belichter

Prozesse

Belichten

Photolithographie

Hersteller

Bungard Elektronik GmbH & Co. KG

Bilddatei

Anwendung

UV-Belichtung von Fotoresisten

Eigenschaften

Doppelseitenbelichtung
2 x 4000W Hg-Lampen
Vakuumrahmen
Leuchttisch, Nutzfläche (600 x 600)mm²
automatische Lichtmengenmesung

Kontaktperson

Hielscher, Gerald, Dr.-Ing.

T: (0351) 463 32159

Standort

WHB 164

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