Gerätedetails

Bezeichnung

Entwicklungsmaschine

Gerätetyp

T209

Geräteklasse

Entwickler

Prozesse

Entwickeln

Photolithographie

Hersteller

Pill GmbH

Bilddatei

Anwendung

Durchlaufentwicklung von Fotoresisten

Eigenschaften

Entwicklung mit NaCO3
Temperatur regelbar

Kontaktperson

Hielscher, Gerald, Dr.-Ing.

T: (0351) 463 32159

Standort

WHB 164

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