Gerätedetails

Vermessung der Topographie und Deformation sowie deren Veränderungen an ebenen Objekten bei veränderlichen Temperaturen (z.B. Simulation eines Lötprofils bis ca. 280°C, Temperatur-Zyklen bis hinab zu -50°C)

• Objektgröße bis zu (300 x 200) mm²
• Infrarotheizung (max. Temperaturgradient 3K/s)
• aktive Kühlung (max. Temperaturgradient -1K/s)
• Temperaturbereich: -50°C ... 300°C
• Messgenauigkeit z-Richtung: 1,5 µm Wiederholgenauigkeit
• Auflösung vs. Messbereich (FOV = Field of View)
  • 53 µm bei (195 x 155) mm²
  • 31 µm bei (110 x 90) mm²
  • 10 µm bei (37 x 30) mm²
  • 3 µm bei (12 x 10) mm²