Gerätedetails
Stylus-Profilometer
DekTakXTA
Messgerät
Diagnostik
Geometr. Charakterisierung
Zerstörungsfreie Prüfung
DekTak
(kein Bild verfügbar - no image available)
Stylus-Profilometrie für Oberflächen und Rauheitsmessung als Linien oder Flächenscan
- Messbereich: Maximal 8“ Wafer
- Stufenhöhe: 0,5 nm bis 1 mm
- Laterale Auflösung: > 1 nm in Scanrichtung, > 1 µm zwischen Scanlinien
- Verfügbare Styli: 2 µm und 50 nm Spitzenradius
WHB 133
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