Gerätedetails
IBS (IonBeamSputtering) Abscheidekammer
Creaphys
Fertigungsgeräte
Beschichtung
Dünnschichtabscheidung
MBraun / Creaphys
Dünnschichtabscheidung von Metallen oder Materialkombinationen
Abscheideregler
- Inficon deposition controller SQC-310
Ion-Beam-Quelle / Assistenzquelle
- KRI® KDC 40 (40mm) 3 gerasterte Ionenquelle
- Microdished™ Molybden-Ionenoptik
- Argonionenstrom >113 mA
- Strahlspannung >1000 V
FAM 346
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