Gerätedetails

Herstellung von Van-der-Waals-Heterostrukturen

• Integriert in eine N2-Atmosphären-Glovebox
• Voll steuerbar von außerhalb
• XYZ-motorisierter Mikromanipulator
• Arbeitsbereich: 20×20×20 mm
• Auflösung: 40 nm
• Temperaturkontrollierte Substrathalterung, Max. Temperatur 150°C, Stabilität besser als 0.2°C
• Objektivlinsen (5-Lagen motorisierter Revolverkopf)
• 5× (0.15 NA, 23.5 mm WD), 10× (0.3 NA, 17.5 mm WD), 20× (0.4 NA, 19.0 mm WD), 50x (0.6 NA, 11.0 mm WD), 100× (0.9 NA, 1.0 mm WD) - ultra-high resolution, Dunkelfeld möglich
• Hochintensive Beleuchtung mit Filterrad und Auswahl an Bandpass-Filtern (10 nm Bandbreite)
• Motorisierter Probenhalter (X, Y & rotation) mit Vakuum-Chuck, Fahrbereich: 75×50 mm, Auflösung: 0.1 μm